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这台EUV究竟有多昂贵?让台积电吓到说A16节点不一定用

加新网CACnews.ca| 2024-5-15 10:47 |来自: 世界日报

英特尔奥勒冈厂内,员工正在高数值孔径极紫外光曝光机(High-NA EUV)前进行作业。(路透)


台积电主管14日透露,台积电A16先进制程节点不一定需要艾司摩尔(ASML)最新的先进芯片制造设备高数值孔径极紫外光曝光机(High-NA EUV),原因是太贵了。彭博资讯揭露,这一部机器要价3.8亿美元。

台积电业务开发资深副总经理暨副共同首席运营官张晓强14日在阿姆斯特丹一场技术研讨会上表示:“价格非常高昂。”“我喜欢High-NA EUV的能力,但我不喜欢它的标价。”

彭博报导,ASML的这款新设备能够用仅仅8纳米宽的线条压印半导体,相较下,前一代机器的线条宽度则高出1.7倍。

售价方面,这款EUV一部售价达到3.5亿欧元(3.8亿美元),重量等同于两台空巴A320客机。

ASML是唯一生产用来生产最复杂半导体所需设备的业者,ASML产品的需求是半导体产业景气的晴雨表。

英特尔已经采购了ASML这款最新的High-NA EUV设备,而且在去年12月底,第一台设备就已运往英特尔奥勒冈厂。

张晓强说,台积电所谓A16先进制程节点(预定2026年稍晚量产)不一定需要使用ASML的High NA EUV设备,而且可以继续仰赖台积电已有的较旧款EUV设备,“我认为目前,我们现有的EUV能力应该有办法支持了”。

张晓强表示,使用新的ASML技术,将取决于它在何处最具经济效益,以及“我们能够达成的技术平衡”。他不愿透露台积电何时将从ASML采购High-NA EUV。

制造先进导体正面临成本上升、技术更加复杂的局面。英特尔面临的挑战尤多,还大力推动进军晶圆代工市场,想切入台积电称霸的晶圆代工市场。英特尔周一(13日)宣布晶圆代工服务事业迎接新的总经理,这是该部门自2021年成立以来的第三位负责主管。

张晓强表示,营运晶圆厂的成本,包括营建、工具、电力和原物料“持续上涨”“这是整个产业面临的集体挑战。”

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