彭博：美再关切EUV恐流入中国 ASML抛文件自清

彭博报导，美国商务部长卢特尼克近来向艾司摩尔主管表达关切，担心ASML的极紫外光微影设备可能已流入中国。（路透）

知情人士透露，美国商务部长卢特尼克已在近来的一连串会议中，向荷兰晶片设备巨擘艾司摩尔（ASML）主管表达关切，担心ASML的极紫外光（EUV）微影设备可能已流入中国，违反美国主导的出口管制。ASML则否认这个说法。

彭博资讯报导，卢特尼克向ASML主管针对该公司的EUV微影设备表达关切，在一场涵盖一系列议题（包括ASML在美投资承诺）的会议上，提出这个问题，但还不清楚引发卢特尼克质疑的具体原因，而卢特尼克和ASML执行长傅凯（Christophe Fouquet）在LinkedIn平台的贴文，都以正面措辞形容那场对话，未提及EUV的议题。

ASML则已反驳卢特尼克的说法，表示完全没有任何一台EUV在中国。EUV尺寸相当于一辆校车、产量有限，且需要ASML员工持续维护，由于特朗普政府主导的出口管制，ASML不得出口EUV系统到中国。

ASML发言人表示，与各国政府都保持对话，且从未运送EUV机器到中国，“ASML定期与全球政府领导人进行透明且公开的对话”，“我们理解美国和荷兰出口管制规范背后的国家安全考量，也全力承诺遵守所有相应规范”，ASML之前已“驳斥几项关于不遵守对中国出口管制的毫无根据谣言，这些谣言既不准确，也损害我们的商誉”。

美国商务部未回应彭博资讯对此事的多次询问，包括是否掌握表明中国确实有EUV机器的证据。荷兰外交部说，荷兰非常严肃对待在“半导体产业所扮演的独特角色”所带来的责任，“非常严格”执行对EUV工具和其他相关出口的管制，“总在必要时进行干预”。

不过，多位特朗普政府的资深官员认为，手上拥有ASML未展现诚意的证据，例如ASML向中国运送用于运输EUV机器的特殊设备、及其他可用于EUV系统的零组件，但这些官员资讯和来源敏感性为由，拒绝彭博希望检视出口证明的请求，也拒绝说明是否已掌握中国实际拥有EUV系统的证据，指称证据太过敏感，无法揭露。

这些官员被问及若掌握证据、为何不实施更严格的政策或惩罚行动时，拒绝置评。

ASML已否认特朗普政府官员的说法，“ASML从未出货EUV机器到中国，也没有出货任何专门设计用于EUV机器的零组件、模组或设备到中国”。

但特朗普政府资深官员的持续关切，已加剧ASML的压力，若ASML依然无法平息华府的担忧，可能使美国与欧盟本已坎坷的关系更加紧绷。目前还不清楚特朗普政府希望从ASML获得的资讯或条件，ASML也试图自清，但苦于不知如何证明不存在的事实、或是需要提供哪些资讯，才能让中国EUV问题落幕。

知情人士透露，ASML私下已进入危机模式。该公司在4月与卢特尼克会面后，开始在华府建立并流传一份题为“没有任何ASML EUV系统在中国的迹象”的文件。

彭博检视的这份文件指出，全球共有314台运作中的EUV机器，26台已除役，没有任何一台在中国，而且ASML能自动侦测EUV产品组合的“任何中断、异常行为或断线”，且因为专门的操作程序，客户“在没有ASML参与的情况下，无法拆除、运输和重新安置EUV系统”。

中国面临的EUV工具出口管制，可能是该国AI晶片龙头华为遭遇的最严苛限制，若EUV系统果真流入中国，将严重违反美国出口管制。华为的晶片事业主管最近则在一次罕见的英语演说中，宣扬该公司在没有ASML EUV机器的情况下，制造晶片的创新成果。

荷兰已限制ASML向中国销售EUV机器、及某些型号的浸润式深紫外光（DUV）微影设备。但在拜登政府时期，ASML在某些DUV管制正式生效前加速出货这些设备，引发美方的挫折感。

特朗普政府资深官员也提到了这些先前合法出货的DUV，指称整体而言，担心ASML优先考量短期获利甚于国家安全。

ASML发言人表示：“任何声称ASML可能、或确实有意且愿意违反荷兰、美国或任何其他政府协议的说法，不仅在事实上不正确，也会严重误导”，“ASML已根据出口管制的各种发展，调整事业营运，以遵守所有新规”。

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